下山 巧さん(応用化学専攻2年)が表面技術協会 第135回講演大会で学術奨励講演賞を受賞しました。

【受賞者】下山 巧さん(応用化学専攻2年)
【指導教員】大石 知司 教授(応用化学科)
【発表題目】超薄板ガラスを用いた有機無機ハイブリッド基板の開発と三次元実装用ガラスインターポーザへの展開

現在私たちの周りには多くの電子機器が存在しており、さらなる薄型化、高性能化が求められている。そこで高集積化のために用いられるインターポーザというものが開発されている。本研究では、薄くて強度の高い基板を開発し、インターポーザへの展開を目指した。

超薄板ガラス(50µm)の両面に、有機フィルム(25µm)を新規に合成した有機無機ハイブリッド接着剤を用いて接合することにより、薄く、高強度な基板を開発した。この基板に貫通電極を形成することで、ガラスインターポーザを作製した。

※インターポーザ:配線幅が異なるLSIチップとメイン基板の間を再配線するもの